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大尺寸硅片自旋轉磨削運動分析及仿真木

摘要本文利用數學矩陣方法,建立大尺寸硅片自旋轉磨削運動的理論模型,研究了砂輪半徑、硅片和砂輪旋轉速度、旋轉方向等因素的選擇及各因素對磨削軌跡的影響,同時還研究了磨粒合成...

日期 2010-01-22   
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