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超硬工具鋸切硅晶材料面臨新技術挑戰

關鍵詞 金剛石 , 多線鋸 , 多晶硅 , 原創|2013-06-18 09:45:47|來源 中國超硬材料網
摘要 納米工程研究中心(CRNE)和加泰羅尼亞科技大學(UPCn)電子工程學院的研究團隊發現了一種可以制造硅晶體材料的方法,這種方法即快捷又實惠。研究結果近期會發表在著名雜志Applie...

  納米工程研究中心(CRNE)和加泰羅尼亞科技大學(UPCn)電子工程學院的研究團隊發現了一種可以制造硅晶體材料的方法,這種方法即快捷又實惠。研究結果近期會發表在著名雜志 Applied Physics Letters 網上電子版。

硅晶體薄片大約10μm,價格很貴,但是在微電子學領域是很值得探索研究,尤其是3D電路集成微芯片的日益增長的需求。在中期內,光伏領域的太陽能轉換為電能,以及更經濟、更靈活輕便的太陽能電池方面,硅片的應用都具有很大的潛力。

近年來,由于技術不斷的進步,從單晶硅錠到日益微薄的硅晶片。運用金剛石多線鋸和超硬研磨材料把原來的多晶塊進行層面的切割,厚度大約是150μm。但是更薄晶片的切割過程是非常復雜的,因為現有的方法只能允許一次一片。此外,在加工的過程中,50%的硅都會損耗掉。

由Ramon Alcubilla教授帶領的科研小組開發了這項技術,可以控制硅晶體的厚度,只需一個步驟就可以把單晶硅變成很多的結晶層。這種硅晶體被稱作是“油酥千層糕”,比現有方法生產效率更高,速度更快而且經濟實惠。

科學家發明這種方法主要是先在材料上做一些小孔,然后利用高溫加工,通過精確控制小孔的剖面圖獲得多個單獨的晶體硅片。它的準確度控制著薄片的的數量和厚度。然后,剝落物把硅層各自分開。硅層數量由層面本身的厚度和晶體薄片最初的厚度所決定。納米工程中心的研究人員已經成功的從一個單一的300毫米的厚晶片研制出相當于十片的薄晶片(5-7mm)。

降低了行業生產成本

微薄和超薄硅晶片的需求使傳統微芯片微機電系統的3D電路集成和最新的光伏技術的應用有了可能性。比如,應用在太陽電池的晶片切割已經有了不斷的改善,厚度降低了的同時,效率也提高了,從而就降低了生產成本。盡管如此,更多成本的降低,還是有一定的困難。而且事實證明,盡管厚度降低了,但是晶片仍然具有吸收太陽能的高容量,從而轉化為電能。(摘譯自:“Producing Cheaper and More Flexible Multiple Thin Crystalline Silicon Wafers”,翻譯:馬燕平)

 

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