產品簡介

RENA旗下RS 690-DW產品是為使金剛石線鋸以最低的制備成本(CoO)獲得最高的硅片質量而研發的。根據工藝參數的計算，該產品據稱可將設備的產出量提高15 MW/a。同時，該產品還具有優化線鋸軸間距、較高的線鋸運轉速度、較短的切割時間等優點，以為改善硅片質量和設備產出量提供支持。

針對問題

降低硅片成本始終是行業較為關注的一個重點，其中包括對于可減少切口損失并具有潛力實現較薄硅片的金剛石線鋸的使用。然而，為實現包括硅片的質量和產量在內的產能最大化，需要專注于對總體工藝流程進行控制。在購置成本計算過程中，最為主要的一點是冷卻液的成本，而冷卻液的成本可通過在金剛石線鋸工藝中使用合適的冷卻液循環解決方案來解決。

解決方案

基于RS 690-2線鋸系統的經驗，RENA為金剛石線鋸設備專門調試出新式RS 690-DW產品。該產品的機械組成包括：具有經優化的線鋸軸間距的固定線鋸、一套新式線鋸管理系統和一套占地小的特制冷凝液分配循環系統。該產品在工藝上的特征據稱可實現較高的硅片質量、改善TTV(總厚度偏差)值、少于1米的單位線鋸消耗量和高于15 MW/a的總產出量。該設備在對156mm x 156mm的硅片進行切割時，所使用的線鋸直徑最小可達100 µm。憑借與SH+E集團的合作，RENA開發出了一套可增加冷卻液使用壽命并降低工藝成本的冷卻液循環系統。

產品應用

本品可應用于多晶/單晶硅錠的切割過程中。

相關信息

據公司稱，包括電氣柜在內的整套現居系統所占面積僅為3,701mm x 2,000mm，從而實現了680mm切割位上的線鋸平臺。據稱，該系統極為便捷的操作界面(直觀的人機互動界面)和維護需求可減少設備的停機時間。

上市時間

2012年9月