化學氣相沉積層的優點是：膜層致密，與基體結合牢固，沉積性好，膜厚且比較均勻，膜層質量比較穩定，易于實現大批量生產等。近幾年來，cvD技術已廣泛應用于機械和儀表零件、刀具和模具等的表面強化，以改善其服役性能及壽命。
　　用cVD涂覆刀具，能有效地減少在車、銑鉆孔過程中出現的磨損，在這里應用了硬質合金刀具和高速鋼刀具，特別是車床的轉位刀片、銑刀、刮刀和整體鉆頭等。使用高耐磨性的碳化物、氮化物、碳氮化物、氧化物和硼化物等涂層。TiN與金屬的親和力小，抗粘附力和抗月牙形磨損性能比Tin涂層高。因此，刀具上廣泛使用的是TiN涂層。
　　目前，國外先進工業國家加工齒輪廣泛使用涂層刀具，估計約有80%的齒輪滾刀和40%的插刀使用了’FiN涂層。這些刀具的壽命增加了4-8倍，并且提高了進給量和切削速度，刀具的抗月牙形磨損性能也顯著提高。
　　為了進一步提高涂層刀具的使用性能，除了單涂層外，近年來還發展了雙涂層、三涂層及多層的復合涂層刀片。常用的雙涂層有Tic—TiN、Tic —A120，等涂層。三涂層的組合方式很多，例如：Tic.Ti(c、N)一’riN、Tic—Ti(c、N).A170，等涂層，還有多層如Tic- Ti-TiN-A1203等。
　　這些相互結合的涂層改善了涂層的結合強度和韌性，提高了耐磨性。美國最新的涂層銑刀片使用了A1203—7FiN—Tic復合涂層，基體為專用的抗塑性變形硬質合金。因為該硬質合金有很好的切削性能，Tic涂層和外層的越203結合，抗磨損性能優于si，N4，能顯著減少月牙形磨損。經生產實踐證明，刀具、冷加工模具等經沉積覆層，其使用壽命提高3～6倍，經濟效益非常顯著。
　　化學氣相沉積層降低刀具磨損的主要原因為：在切削開始時，切削與基體的直接接觸減小，這樣刀具和工件之間的擴散過程降低，因此降低了月牙形磨損。即使破壞了表面涂層，仍然能阻擋進一步的磨損，保留的涂層仍然能支持切削工作。重要的是降低了切削和刀具之間的摩擦因數，這樣產生的熱量減少，因此磨損小。與基體材料相比，沉積層的熱導率更小，使更多的熱保留在切削和工件中，這樣降低了磨損效應，使壽命得到提高，明顯降低了成本，在切削加工材料時能獲得最好的效果。