超聲波清洗是基于空化作用，即在清洗液中無數氣泡快速形成并迅速內爆，由此產生的沖擊將浸沒在清洗液中的工件內外表面的污物震落剝離下來。隨著超聲頻率的提高，氣泡數量增加而爆破沖擊力減弱，因此，高頻超聲特別適用于小顆粒污垢的清洗而不破環其工件表面。
　　
　　空化泡的擴大以及爆裂（內爆）
　　
　　任何超聲清洗系統都必須具備三個基本元件：盛放清洗液的槽、將電能轉化為機械能的換能器以及產生高頻電信號的超聲波發生器。
　　
　　超聲清洗的優越性
　　
　　超聲清洗目前已被認識到的優點如下：
　　
　　高精度
　　
　　由于超聲波的能量能夠穿透細微的縫隙和小孔，故可以應用與任何零部件或裝配件的清洗。被清洗件為精密部件或裝配件時，超聲清洗往往成為能滿足其特殊技術要求的唯一的清洗方式；
　　
　　快速
　　
　　超聲清洗相對常規清洗方法在工件除塵除垢方面要快得多。裝配件無須拆卸即可清洗。超聲清洗可節省勞動力的優點往往使其成為最經濟的清洗方式；
　　
　　一致
　　
　　無論被清洗件是大是小，簡單還是復雜，單件還是批量或在自動流水線上，使用超聲清洗都可以獲得手工清洗無可比擬的均一的清潔度。