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官方微信摘要 名稱以金屬鈦為界面層的非晶金剛石薄膜多層材料、制備方法及其用途公開號1227162公開日1999.09.01主分類號
| 名稱 | 以金屬鈦為界面層的非晶金剛石薄膜多層材料、制備方法及其用途 | ||
| 公開號 | 1227162 | 公開日 | 1999.09.01 |
| 主分類號 | B32B9/00 | 分類號 | B32B9/00 |
| 申請號 | 98122070.3 | ||
| 分案原申請號 | 申請日 | 1998.12.04 | |
| 頒證日 | 優先權 | ||
| 申請人 | 中國科學院上海冶金研究所 | 地址 | 200050上海市長寧區長寧路865號 |
| 發明人 | 柳襄懷; 王曦; 茅東升; 鄭志宏; 楊石奇; 李煒; 李瓊; | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進入國家日期 | ||
| 專利代理機構 | 上海華東專利事務所 | 代理人 | 鄔震中; 高毓秋 |
| 摘要 | 本發明涉及一種以金屬鈦為界面層的非晶金剛石薄膜材料，是指在基體材料與非晶金剛石薄膜之間沉積一層金屬鈦而制備的多層材料。該材料或經熱處理后，能使金屬鈦與非晶金剛石薄膜之間形成一層碳化鈦過渡層，造成金屬鈦與非晶金剛石薄膜之間良好的接觸，并降低了界面的勢壘高度，同時使結合力得到增強，增加非晶金剛石薄膜的使用壽命，該多層材料可廣泛地用作微電子及其平板顯示器等新型功能器件的部件。 | ||
豫公網安備41019702003646號