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耐熱沖擊性高的高純硅化碳化硅

關鍵詞 高純硅化碳化硅 |2010-12-24 00:00:00|行業專利|來源 中國超硬材料網
摘要 名稱耐熱沖擊性高的高純硅化碳化硅公開號1329583公開日2002.01.02主分類號C04B35/565 

 

名稱 耐熱沖擊性高的高純硅化碳化硅 
公開號 1329583  公開日 2002.01.02   
主分類號 C04B35/565  分類號 C04B35/565;H01L21/02 
申請號 99814270.0   
分案原申請號   申請日 1999.11.09   
頒證日   優先權 1998.12.11_US_09/210,635 
申請人 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司    地址 美國馬薩諸塞州  
發明人 D·多布特;A·赫爾勒    國際申請 PCT/US99/26568 1999.11.9 
國際公布 WO00/34203 英 2000.6.15  進入國家日期 2001.06.08  
專利代理機構 上海專利商標事務所    代理人 朱黎明   
摘要   本發明是一種高強度、耐熱沖擊、高純度硅化的碳化硅材料,它是由至少含71體積%碳化硅的轉化石墨碳化硅體硅化而成的。  
 

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