名稱 | 高純球形無定型硅微粉的制備 | ||
公開號 | 1188075 | 公開日 | 1998.07.22 |
主分類號 | C01B33/12 | 分類號 | C01B33/12 |
申請號 | 97109007.6 | ||
分案原申請號 | 申請日 | 1997.01.14 | |
頒證日 | 優先權 | ||
申請人 | 武漢大學 | 地址 | 430072湖北省武漢市珞珈山 |
發明人 | 袁良杰; 何治柯 | 國際申請 | |
國際公布 | 進入國家日期 | ||
專利代理機構 | 武漢大學專利事務所 | 代理人 | 康俊明 |
摘要 | 本發明公開了一種新的制備高純球形無定型硅微粉的方法。該方法以水玻璃和無機酸為主要原料,通過控制溶劑、乳化劑與水玻璃的比例,乳化時的轉速及添加劑用量等條件參數,制備放射性元素鈾含量小于1ppb,常見離子含量均小于1ppm的球形硅微粉,平均粒徑可在5~40μm之間調控,該產品可用作環氧樹脂的填料,以制備大規模或超大規模集成電路器件的封裝材料,還可用作制備其它高檔電子器件的填料。 |