摘要 名稱新穎的碳化硅仿真晶片公開號1147806公開日1997.04.16主分類號C04B35/573
名稱 | 新穎的碳化硅仿真晶片 | ||
公開號 | 1147806 | 公開日 | 1997.04.16 |
主分類號 | C04B35/573 | 分類號 | C04B35/573;C30B31/10;C04B41/87;C04B38/00 |
申請號 | 96190134.9 | ||
分案原申請號 | 申請日 | 1996.02.28 | |
頒證日 | 優先權 | [32]1995.3.1[33]US[31]08/396,970 | |
申請人 | 圣戈本/諾頓工業搪瓷有限公司 | 地址 | 美國馬薩諸塞州 |
發明人 | C·A·維勒肯斯; N·P·阿爾賽諾 | 國際申請 | PCT.US96/02880 96.2.28 |
國際公布 | WO96.26910 英 96.9.6 | 進入國家日期 | 1996.10.28 |
專利代理機構 | 上海專利商標事務所 | 代理人 | 林蘊和 |
摘要 | 本發明涉及一種基本上由重結晶碳化硅組成的未硅化處理或經硅化處理的晶片,晶片直徑至少為150mm,厚度為0.5~2mm,晶片中含有15~43v/o的孔隙率或游離硅。 |