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新穎的碳化硅仿真晶片

關(guān)鍵詞 碳化硅仿真晶片 |2010-12-23 00:00:00|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱新穎的碳化硅仿真晶片公開號1147806公開日1997.04.16主分類號C04B35/573

 

名稱 新穎的碳化硅仿真晶片 
公開號 1147806  公開日 1997.04.16 
主分類號 C04B35/573  分類號 C04B35/573;C30B31/10;C04B41/87;C04B38/00 
申請?zhí)?/strong> 96190134.9 
分案原申請?zhí)?/strong>   申請日 1996.02.28 
頒證日   優(yōu)先權(quán) [32]1995.3.1[33]US[31]08/396,970 
申請人 圣戈本/諾頓工業(yè)搪瓷有限公司  地址 美國馬薩諸塞州 
發(fā)明人 C·A·維勒肯斯; N·P·阿爾賽諾  國際申請 PCT.US96/02880 96.2.28 
國際公布 WO96.26910 英 96.9.6  進入國家日期 1996.10.28 
專利代理機構(gòu) 上海專利商標事務(wù)所  代理人 林蘊和 
摘要   本發(fā)明涉及一種基本上由重結(jié)晶碳化硅組成的未硅化處理或經(jīng)硅化處理的晶片,晶片直徑至少為150mm,厚度為0.5~2mm,晶片中含有15~43v/o的孔隙率或游離硅。 
 

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