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日期 2007-11-12   

硅表面碳離子束沉積金剛石形核的研究

在用CVD方法在單晶硅上生長金剛石薄膜有著誘人的應用前景,目前存在的一個問題是如何提高金剛石的形核率。很多方法用來提高形核率,例如用細砂紙打磨硅表面,Si+轟擊硅表面。...

日期 2005-07-08   
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