摘 要 采用微磨料氣射流加工技術（MAJM），對普通硅酸鹽玻璃進行微流道槽加工。對通過掩膜加工與非掩膜加工效果相比較，得出在掩膜加工過程中，由于磨料的二次反彈沖蝕作用，所加工出的槽，槽壁較陡；在掩膜加工過程中，改變噴射距離、噴射壓力、噴嘴移動速度和磨料流量四個加工參數，對加工槽的輪廓、加工過程中的材料去除率、磨料的流量效應進行研究，得出當噴射距離為4mm，噴射壓力為0.5MPa，噴嘴移動速度為1.0mm/s，磨料流量為0.117g/s時，加工效果最好。通過傾斜噴射與掩膜加工相結合，研究了磨料磨粒的二次反彈沖蝕現象，為復雜三維結構的加工，提供了一種新方法。
　　
　　
　　《金剛石與磨料磨具工程》第三期