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微波CVD金剛石薄膜用作LED散熱片的制備

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摘要由于金剛石具有室溫下最高的熱導率,因此用化學氣相沉積(CVD)制備的金剛石膜是大功率發(fā)光二極管理想的散熱材料。本文利用微波等離子體CVD研究了不同沉積工藝下金剛石薄...

日期 2011-07-20   
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