近日，坐落于四川省成都市雙流區(qū)空港一路的成都華宇微波技術(shù)有限公司傳來喜訊，該公司實現(xiàn)了高端裝備領(lǐng)域重大技術(shù)突破，其自主研發(fā)生產(chǎn)的微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(MPCVD)3.0設(shè)備正式下線并投入使用，標志著，成都華宇微波終于趕在2023年末實現(xiàn)了國內(nèi)MPCVD設(shè)備在這一領(lǐng)域的又一次突破。

成都華宇微波亮相第七屆國際碳材料大會暨產(chǎn)業(yè)展覽會。

　　“MPCVD微波等離子化學(xué)氣相沉積技術(shù)，是通過微波激發(fā)反應(yīng)氣體成等離子體狀態(tài)，提高化學(xué)反應(yīng)速率，從而確保單晶材料生長的持續(xù)性，為合成高質(zhì)量的大尺寸單晶金剛石提供有力保證。適合制備面積大、均勻性好、純度高、結(jié)晶形態(tài)好的高質(zhì)量硬質(zhì)薄膜和晶體。這種技術(shù)培育出來的鉆石凈度更高，可以作為光、電、聲等功能性材料，也可用于鉆石飾品的制作。”成都華宇微波負責人劉引表示。

　　20多年來，成都華宇微波始終專注于微波等離子體設(shè)備和相關(guān)材料沉積工藝的研發(fā)，其研發(fā)和制造的微波等離子體系統(tǒng)涵蓋了目前國內(nèi)外已知的所有類型，并為國內(nèi)眾多科研院所和企業(yè)用戶提供了微波等離子體專業(yè)化、定制化設(shè)備和產(chǎn)品工藝技術(shù)的綜合解決方案。

成都華宇微波展廳。

　　11月1日至3日，第七屆國際碳材料大會暨產(chǎn)業(yè)展覽會(Carbontech2023)在上海跨國采購會展中心舉辦。鉆石加工、鑒定研究及教學(xué)40多年的材料學(xué)專家苑執(zhí)中，四川大學(xué)無機材料系和生物醫(yī)學(xué)工程系教授茍立、電子科技大學(xué)教授陳中柘等多位材料和機械領(lǐng)域的專家齊聚成都華宇微波展廳共話MPCVD未來。

　　“MPCVD技術(shù)在大尺寸、大克拉鉆石培育方面具有絕對優(yōu)勢。”四川大學(xué)無機材料系和生物醫(yī)學(xué)工程系教授芶立表示，隨著大尺寸、大范圍、高靈活度的金剛石沉淀技術(shù)的逐步開發(fā)，大規(guī)模集成電路和高速集成電路也將進入一個新的時代。據(jù)了解，芶立是材料學(xué)方面的專家，四川省學(xué)術(shù)和技術(shù)帶頭人后備人選，在金剛石的制備和應(yīng)用上有很深的研究造詣，曾參加“863”課題、“973”等國家重點項目。

　　“我對MPCVD技術(shù)的應(yīng)用場景，非常看好。”據(jù)芶立介紹，金剛石上在力學(xué)、熱學(xué)、聲學(xué)、光學(xué)、電學(xué)方面都有優(yōu)異的特性，所以在高功率的散熱、極端環(huán)境下的探測、污水廢水的處置等方面表現(xiàn)得很優(yōu)秀，“金剛石還被譽為終極半導(dǎo)體材料，今后必將在芯片行業(yè)取得突破性的應(yīng)用。”

　　“成都華宇微波起步早，是國內(nèi)最早做微波等離子體化學(xué)氣相沉積的制造商之一。企業(yè)的技術(shù)團隊研發(fā)能力較強，技術(shù)在行業(yè)領(lǐng)先。現(xiàn)在很多高校和研發(fā)機構(gòu)進行教學(xué)、研究，都需要用到這個設(shè)備。”芶立如是說。