摘要 美國圣弗朗西斯科訊戴比爾集團人造金剛石分公司-元素六,于2013年美國西部光電展上宣布該公司加利福尼亞工廠將增加50%人造金剛石晶片產量。元素六公司增加的產量將滿足日益增長的光學窗...
美國圣弗朗西斯科訊 戴比爾集團人造金剛石分公司-元素六,于2013年美國西部光電展上宣布該公司加利福尼亞工廠將增加50%人造金剛石晶片產量。元素六公司增加的產量將滿足日益增長的光學窗產品需求,該產品是一種激光等離子極端紫外線(英文簡寫為:EUV)光刻系統部件。人造金剛石光學窗是一款易替代傳統光學材料產品,實現低缺陷率并確保無以倫比系統性能,技術負責人阿德里安·威爾遜。
化學氣相沉積技術利用特性制造合成窗,適合高能量二氧化碳激光和高穿透的EUV加工技術,因此實現光刻系統最佳成本率和生存率。(翻譯:王晗)